优尔鸿信检测|常见的IC检测设备有哪些？

以下是一些常见的 IC 检测设备：

自动测试设备（ATE）

功能：可自动对 IC 进行性能验证和故障诊断，能精确测量和评估芯片各项性能指标，通过自动化测试流程大幅提高测试效率，支持多种测试模式和程序以满足不同测试需求，并采用先进故障诊断和隔离技术确保测试结果准确可靠.

应用：广泛应用于半导体设计、制造、封装等各个环节，如 SoC 测试机用于智能手机、平板电脑、数据中心等高端电子设备中的系统级芯片测试；存储测试机专注于数据中心、个人电脑、移动设备等领域的存储芯片测试.

探针台

功能：用于晶圆加工之后、封装工艺之前的测试环节，负责晶圆的输送与定位，使晶圆上的晶粒依次与探针接触，从而能够测量芯片上的电阻、电容、电流、电压等电气性能参数.

应用：在芯片制造的前段工艺中，对晶圆上的芯片进行初步的电气性能检测，以便及时发现有缺陷的芯片，避免后续封装等工艺的浪费.

分选机

功能：应用于芯片封装之后的测试环节，将输入的芯片按照系统设计的取放方式运输到测试模块完成电路压测，并依据测试结果对芯片进行取舍和分类.

应用：在芯片封装完成后，对大量的成品芯片进行快速筛选和分类，确保只有符合质量标准的芯片能够进入市场.

X 射线检测设备

功能：可清晰检测电子元器件内部结构，查看是否断丝、错焊、漏焊、虚焊等，对芯片、电路板等工业电子制品进行无损透视检测，其检测图像分辨率高、灰度等级丰富，还可通过附带的图像处理系统对检测图像进行存储、打印及多元化处理2.

应用：适用于工业、电子产品制造商、检验及维修部门、科研实验室等，在芯片制造和电子组装过程中，用于检测芯片内部连接的质量以及焊点的可靠性等.

光学显微镜

功能：通过光学成像原理观察芯片的表面形貌、光刻图案、封装结构等，可检测芯片表面是否有划痕、裂纹、污渍、光刻缺陷等问题，还能用于对芯片进行手动测量和分析.

应用：在芯片制造的各个环节，如晶圆制造、光刻工艺、封装工艺等，用于对芯片进行初步的外观检查和简单的尺寸测量，以及对一些明显的缺陷进行快速识别.

扫描电子显微镜（SEM）

功能：利用电子束扫描样品表面，产生高分辨率的二次电子像或背散射电子像，能够清晰地显示芯片的微观结构和表面形貌，可检测到更小尺寸的缺陷、杂质颗粒、薄膜厚度变化等，还可用于分析芯片材料的成分和晶体结构.

应用：主要用于芯片的失效分析、工艺研发和质量控制等方面，对于研究芯片的微观缺陷和材料特性具有重要作用.

椭圆偏振仪

功能：通过测量椭圆偏振光在样品表面反射或透射时偏振态的变化，来确定薄膜材料的厚度、折射率、消光系数等光学参数，可用于检测芯片表面的薄膜厚度和光学性质.

应用：在芯片制造过程中，常用于测量晶圆上的光刻胶、绝缘层、金属薄膜等各种薄膜材料的厚度和光学常数，以确保薄膜的质量和性能符合工艺要求.

四探针测试仪

功能：使用四个等距的金属探针接触薄膜材料表面，通过测量外围两探针通入直流电流时中间两根探针间的电位差，基于所测电压和电流得出电阻，进而计算出薄膜厚度，可快速、准确地测量半导体材料和薄膜的电阻率及方块电阻.

应用：在芯片制造中，用于测量晶圆、芯片上的半导体薄膜、金属薄膜等的电阻特性和厚度，对于评估材料质量和工艺参数具有重要意义.

逻辑分析仪

功能：能够捕捉和显示芯片输出的数字信号波形，通过对多个信号通道的同步采集和分析，可以检测数字电路中的时序问题、逻辑错误、信号完整性等，帮助测试人员快速定位和解决数字电路中的故障.

应用：广泛应用于数字集成电路的设计验证、调试和故障诊断，特别是对于复杂的数字系统和大规模集成电路的测试，如微处理器、FPGA、ASIC 等芯片的测试.

示波器

功能：可以显示电路中随时间变化的电压波形，通过连接到芯片的引脚接收信号，并将其转换为直观的波形图，用于测试芯片的模拟电路和数字电路，可测量信号的幅度、频率、周期、上升时间、下降时间等参数.

应用：在芯片的模拟电路测试和数字电路的信号完整性测试中经常使用，帮助工程师分析芯片对输入信号的响应特性，以及芯片输出信号的质量，对于验证芯片的功能和性能至关重要.